[S] Materials Science of Additive Manufacturing II: Creation of Materials by Superthermal Field(2)

[S5.37] High-speed epitaxial growth with ordered structures via CVD under superthermal field

*Akihiko Ito¹ (1. Yokohama National Univ.)

Keywords:化学気相析出、セラミックス共晶系、蛍光体、YAG、アルミナ

化学気相析出過程に高強度レーザーを照射して活性な結晶成長の場を創り出すことで、セラミックス単結晶厚膜の高速エピタキシャル成長や、気相から無機固体結晶の秩序構造の形成が起こることを示した。