[G] Nuclear Materials

[323] Competition between ion beam sputtering and self-organization of point defects for surface structuring on germanium

*Naoto Oishi¹, Tatsuya Yasuoka¹, Toshiyuki Kawaharamura¹, Noriko Nitta¹ (1. Kochi University of Technology)

Keywords:表面微細構造、Ge、イオンビーム、点欠陥、スパッタリング

イオンビーム照射が誘起するGe表面微細構造の形成について調べた。特に斜入射におけるスパッタリングと点欠陥自己組織化の競合について議論した。