[S9] S9.Materials Science and high temperature processing of widegap materials V

[S9.1] Fundamental Technologies and Applications in Large Diameter SiC Solution Growth

*Toru UJIHARA¹ (1. Nagoya Univ.)

Keywords:SiC、溶液成長

我々は本手法による大口径SiC結晶成長を実現すべく、様々な基礎技術の開発を行ってきた。特に、大口径化においては機械学習を用いたデジタルツインの開発とそれを用いた条件最適化が大きな役割を果たしている。