[P] P1~P7

[P4] 圧延、研磨、熱処理によるグラフェン成長用銅基板の作製

*小野 憲吾¹、東條 楓²、本多 信一³、岡井 大祐³、藤井 俊二郎³ (1. 兵庫県立大学(院生)、2. 兵庫県立大学(学生)、3. 兵庫県立大学(教員))

キーワード：グラフェン、銅基板、圧延、熱処理、研磨、CVD成長

グラフェンはデバイス部品等多岐の分野への応用が期待されている。そうした応用促進の為、安価でかつ容易な大面積グラフェンの開発に向けた圧延と熱処理、研磨を用いた手法でグラフェン成長用基板作製を目指した。