[P] P1~P7

[P6] Auで被覆した加熱基板へのスパッタによるGe薄膜の結晶化

*赤坂 駿英¹、弓野 健太郎^1,2 (1. 芝浦工大、2. 芝浦工大グリーンエレクトロニクス国際研究センター)

キーワード：半導体薄膜

本研究では、低温でのGeの結晶化を目的として、Auで被覆した基板に、加熱とGeのスパッタを同時に行い、層交換を起こす方法を試みた。この方法で作製した試料の構造の評価を行った。