[P] P112~P121

[P115] Existence states of Ar atoms introduced by different methods in metallic glass thin films

*Junpei KOBATA¹ (1. ORIST)

Keywords:UBMスパッタ法、金属ガラス、Ar、イオン注入、X線吸収微細構造解析

本発表では、UBMスパッタ法およびイオン照射によりTi-Cu基金属ガラス膜に導入したArの存在状態をX線吸収微細構造解析により調査した結果を報告する。