[P] P112~P121

[P115] 金属ガラス膜中に異なる手法で導入したArの存在状態

*小畠 淳平¹ (1. 大阪技術研)

キーワード：UBMスパッタ法、金属ガラス、Ar、イオン注入、X線吸収微細構造解析

本発表では、UBMスパッタ法およびイオン照射によりTi-Cu基金属ガラス膜に導入したArの存在状態をX線吸収微細構造解析により調査した結果を報告する。