[P] P132~P141

[P132] Nano-ripple structure on Al₂O₃ surface by ion beam sputtering

*Shotaro Akamine¹, Naoto Oishi¹, Noriko Nitta² (1. 高知工大（院生）、2. 高知工大)

Keywords:Al₂O₃、ナノリップル構造、イオンビーム、スパッタリング、AI画像認識

これまで固体表面に対するイオンビーム照射によりナノリップルが形成されることに関する多くの研究が行われる中,関連するプロセスの可能性を広げるために報告例の少ないAl₂O₃単結晶基板にイオンビーム照射を行った。