[P] P132~P141

[P132] イオンビームスパッタリングによるAl₂O₃表面ナノリップル構造形成

*赤嶺 章太郎¹、大石 脩人¹、新田 紀子² (1. 高知工大（院生）、2. 高知工大)

キーワード：Al₂O₃、ナノリップル構造、イオンビーム、スパッタリング、AI画像認識

これまで固体表面に対するイオンビーム照射によりナノリップルが形成されることに関する多くの研究が行われる中,関連するプロセスの可能性を広げるために報告例の少ないAl₂O₃単結晶基板にイオンビーム照射を行った。