[P] P142~P151

[P143] Morphology Control of SiC Surface Ripple Structure by Ion Beam Irradiation

*Kenichiro Yoshiura¹, Naoto Oishi¹, Noriko Nitta² (1. Kochi University of Technology, 2. Kochi University of Technology)

Keywords:SiC、リップル構造、イオンビーム照射、AI物体検出、FIB

イオンビーム照射を用いてSiC表面にスパッタリングによってリップル構造を作製した。またイオンビーム照射の重畳によってリップル構造を作製した。加えて、AIを用いた微小リップル構造の物体検出手法を検討した。