4:30 PM - 6:00 PM
[P143] Morphology Control of SiC Surface Ripple Structure by Ion Beam Irradiation
Keywords:SiC、リップル構造、イオンビーム照射、AI物体検出、FIB
イオンビーム照射を用いてSiC表面にスパッタリングによってリップル構造を作製した。またイオンビーム照射の重畳によってリップル構造を作製した。加えて、AIを用いた微小リップル構造の物体検出手法を検討した。
Please log in with your participant account.
» Participant Log In