日本金属学会2023年春期(第172回)講演大会

Presentation information

ポスターセッション

10. Energy and Related Materials » Energy and Related Materials

[P] P142~P151

Tue. Mar 7, 2023 4:30 PM - 6:00 PM South Exhibition Hall, 2nd Flr. ,"Hamamastucho-kan"

4:30 PM - 6:00 PM

[P143] Morphology Control of SiC Surface Ripple Structure by Ion Beam Irradiation

*Kenichiro Yoshiura1, Naoto Oishi1, Noriko Nitta2 (1. Kochi University of Technology, 2. Kochi University of Technology)

Keywords:SiC、リップル構造、イオンビーム照射、AI物体検出、FIB

イオンビーム照射を用いてSiC表面にスパッタリングによってリップル構造を作製した。またイオンビーム照射の重畳によってリップル構造を作製した。加えて、AIを用いた微小リップル構造の物体検出手法を検討した。

Please log in with your participant account.
» Participant Log In