[P] P142~P151

[P143] イオンビーム照射によるSiC表面リップル構造の形態制御

*芦浦 憲一郎¹、大石 脩人¹、新田 紀子² (1. 高知工大(院生)、2. 高知工大)

キーワード：SiC、リップル構造、イオンビーム照射、AI物体検出、FIB

イオンビーム照射を用いてSiC表面にスパッタリングによってリップル構造を作製した。またイオンビーム照射の重畳によってリップル構造を作製した。加えて、AIを用いた微小リップル構造の物体検出手法を検討した。