[P] P38~P46

[P41] Oxidation resistance of Zr(Al)SiCN coatings

*Taisei Joy¹, Taichi Ito¹, Taiki Tsuchiya¹, Seungwon Lee¹, Kenji Matsuda¹, Yoshihumi Aoi², Susumu Ikeno³, Masateru Nose^2,3 (1. Univ. of Toyama, 2. Ryukoku Univ, 3. Professor Emeritus Univ. of Toyama)

Keywords:Thin film、TEM、oxidation、heat treatment

硬質保護膜として，遷移金属窒化物膜が広く使用され，盛んに研究開発されてきた．本研究では，異なるAl濃度比のZr(Al)SiCN膜を作製し，硬さ測定, 組成分析, 微細組織観察を行うことで酸化挙動について調査した．