[P] P38~P46

[P41] Zr(Al)SiCN膜の耐酸化性

*上井 泰成¹、伊藤 太一¹、土屋 大樹¹、李 昇原¹、松田 健二¹、青井 芳史²、池野 進³、野瀬 正照^2,3 (1. 富山大学、2. 龍谷大学、3. 富山大学名誉教授)

キーワード：Thin film、TEM、oxidation、heat treatment

硬質保護膜として，遷移金属窒化物膜が広く使用され，盛んに研究開発されてきた．本研究では，異なるAl濃度比のZr(Al)SiCN膜を作製し，硬さ測定, 組成分析, 微細組織観察を行うことで酸化挙動について調査した．