日本金属学会2023年春期(第172回)講演大会

講演情報

一般講演

9.電気・磁気 関連材料 » 電気・電子・光関連材料

[G] 半導体・テラヘルツ光

2023年3月8日(水) 13:30 〜 16:35 J会場 (12号館2階1225)

座長:齊藤 雄太(産総研)、田邉 匡生(芝浦工業大学)、阿部 世嗣(電磁材料研究所)

14:55 〜 15:10

[223] 酸素ドーパントによるCrN薄膜のP-N変換

*双 逸1、須藤 祐司1,2 (1. 東北大AIMR、2. 東北大工)

キーワード:CrN、Thermoelectric material、Thin film

In this study, a p-type CrN thermoelectric thin film was successfully fabricated by using a simple sputtering method.

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