日本金属学会2023年春期(第172回)講演大会

講演情報

一般講演

9.電気・磁気 関連材料 » 電気・電子・光関連材料

[G] 半導体・テラヘルツ光

2023年3月8日(水) 13:30 〜 16:35 J会場 (12号館2階1225)

座長:齊藤 雄太(産総研)、田邉 匡生(芝浦工業大学)、阿部 世嗣(電磁材料研究所)

15:25 〜 15:40

[225] スパッタリング法によるPt-α-Fe2O3コンポジット薄膜の作製

*阿部 世嗣1 (1. 電磁研)

キーワード:薄膜、鉄酸化物、コンポジット、Pt、無機材料

Pt添加α-Fe2O3薄膜について検討を行った。その結果、大気中熱処理を施すことにより鉄酸化物はα-Fe2O3に単相化し、Ptは相分離してナノコンポジット薄膜を形成することを明らかにした.

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