[G] Surface and Interface

[34] Mechanical properties and heat resistance of (Cr1-xAlx)N-SiCN coatings

*Taichi ITO¹, Taiki Tsutiya¹, Seungwon Lee¹, Kenji Matsuda¹, Yoshihumi Aoi², Susumu Ikeno³, Masateru Nose^2,3 (1. Univ．of Toyama, 2. Ryukoku Univ．, 3. Professor Emeritus Univ．of Toyama)

Keywords:硬質皮膜、微細組織、耐熱性、TEM

金属加工などに使用される切削工具の保護膜には機械的性質や耐熱性が求められる．本研究では，Cr：Al濃度比を変化させたCrAlN-SiCN膜の諸特性について調査を行った．