[G] 表面・界面

[34] (Cr1-xAlx)N-SiCN膜の機械的特性および耐熱性

*伊藤 太一¹、土屋 大樹¹、李 昇原¹、松田 健二¹、青井 芳史²、池野 進³、野瀬 正照^2,3 (1. 富山大学、2. 龍谷大学、3. 富山大学名誉教授)

キーワード：硬質皮膜、微細組織、耐熱性、TEM

金属加工などに使用される切削工具の保護膜には機械的性質や耐熱性が求められる．本研究では，Cr：Al濃度比を変化させたCrAlN-SiCN膜の諸特性について調査を行った．