株式会社TSLソリューションズは、SEM/EBSD法およびTEM/ASTAR法を用いた結晶方位をベースにした材料の組織観察装置およびその解析技術に関連した製品の輸入販売、サポートを行っています。またそれに関連し、In-Situ実験のための試料引張ステージ、試料加熱ステージ、試料曲げステージ等の開発・設計・製造・販売とそれらの技術サポートを行っています。
SEM/EBSD法はすでに、材料の組織観察技術としては無くてはならないものとなっていますが、EBSDパターンの発生原理に起因する空間分解能に限界があります。近年は、TEMを用いてこの限界を打ち破るTEM/ASTAR法が開発され、実用化しています。弊社では、この手法を開発したNanoMEGAS社の代理店として国内で輸入販売・技術サポートも行っております。TEM/ASTAR法では、1nmに迫る空間分解能を持ち、数nmの微細粒の結晶方位を決めることも可能です。また結晶格子定数の情報も指数付けに利用できることと優れたテンプレートマッチング法による指数付けで優れた相分離機能もその特徴となっています。そのような利点を生かし、EBSD法では解析できなかった半導体関連試料をはじめ多くの微細組織を持つ試料の解析に威力を発揮しています。
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