[P] P1~P8

[P1] The change in crystalline structure, magnetic, and electrical properties due to thermal treatment in W/CoFeB thin films

*SHOGO SUGIMINE¹, NOBUKI TEZUKA², MASASHI MATSUURA², SATOSHI SUGIMOTO² (1. Tohoku Univ., 2. Tohoku Univ.)

Keywords:Tungsten、Spintronics、Annealing

大きなスピンホール角を持つβ-Wは準安定構造でありメモリ作製時の配線工程で行われる熱処理による特性変化が懸念される.そこでβ-Wの熱処理による結晶構造と磁気・電気伝導特性の変化について調べたので報告する.