[P] P1~P8

[P1] W/CoFeB薄膜における熱処理による結晶構造と磁気・電気伝導特性の変化

*杉峰 正悟¹、手束 展規²、松浦 昌志²、杉本 諭² (1. 東北大工(院生)、2. 東北大工)

キーワード：Tungsten、Spintronics、Annealing

大きなスピンホール角を持つβ-Wは準安定構造でありメモリ作製時の配線工程で行われる熱処理による特性変化が懸念される.そこでβ-Wの熱処理による結晶構造と磁気・電気伝導特性の変化について調べたので報告する.