[P] P100~P104

[P103] Fabrication and electrical characteristics of polycrystalline Ge thin films by MIC using Ag catalyst

*Yuto WATABE¹, Kazuya KOBAYASHI¹, Kentarou KYUNO^1,2 (1. Shibaura Institute of Technology, 2. SIT International Research Center for Green Electronics)

Keywords:半導体薄膜、Ge、層交換

本研究ではAgを触媒としたMIC法により低温で多結晶Ge薄膜を作製を試み，作製した薄膜の成膜プロセスとトランジスタ特性を調べた．