[P] P110~P119

[P119] STEM-EDS/EELS同時取得による局所元素定量分析の正確度向上

*森本 隼司¹、根本 隆¹、治田 充貴¹ (1. 京都大学　化学研究所)

キーワード：エネルギー分散型X線分光法、電子エネルギー損失分光法、定量分析、走査型透過電子顕微鏡

局所領域の元素の定量分析で、同時に取得したEDS法とEELS法を組み合わせることによって、従来の定量分析法よりも正確度が向上された。