[P] P110~P119

[P119] Improvement of Accuracy of Quantitative Analysis by Simultaneous Measurement of EDS and EELS in STEM

*Shunji Morimoto¹, Takashi Nemoto¹, Mitsutaka Haruta¹ (1. Institute for Chemical Research, Kyoto University)

Keywords:エネルギー分散型X線分光法、電子エネルギー損失分光法、定量分析、走査型透過電子顕微鏡

局所領域の元素の定量分析で、同時に取得したEDS法とEELS法を組み合わせることによって、従来の定量分析法よりも正確度が向上された。