4:00 PM - 5:30 PM
[P145] Measurement of thermal effusivity for searching optimal FAST materials
Keywords:熱浸透率、熱電材料、FAST材料、熱物性顕微鏡、ハイスループット
環境親和性の観点から注目されるFAST材料の熱浸透率を熱物性顕微鏡を用いたハイスループットな手法で測定し、その分布結果とSEMやEDSで得た結果を対応させ、熱物性評価の立場から最適なFAST材料について検討した。
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