[P] P138~P148

[P145] Measurement of thermal effusivity for searching optimal FAST materials

*Honoka NISHIBA¹, Sayaka KONO², Teruyuki IKEDA³, Tsuyoshi NISHI³, Hiromichi OHTA³ (1. Ibaraki Univ. Faculty of Eng., 2. Ibaraki Univ. Graduate School of Sci. and Eng., 3. Ibaraki Univ. Graduate School of Sci. and Eng.)

Keywords:熱浸透率、熱電材料、FAST材料、熱物性顕微鏡、ハイスループット

環境親和性の観点から注目されるFAST材料の熱浸透率を熱物性顕微鏡を用いたハイスループットな手法で測定し、その分布結果とSEMやEDSで得た結果を対応させ、熱物性評価の立場から最適なFAST材料について検討した。