4:00 PM - 5:30 PM
[P147] Fabrication of SiC liner crucible for solution growth of high quality SiC
Keywords:SiC、溶液成長法、SiCライナー、熱流体計算
本研究では安定的なSiC溶液成長法の実現に向けて、SiCライナーの作製を行った。またSiCライナーを用いた際の熱流動予測を行うため、熱流体シミュレーションを行った。
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