[P] P168~P180

[P169] Effects of Low-Energy Superimposed Ion Beam Irradiation on
Morphological Change in Ge Surface Structure

*Rei MIYATA¹, Naoto OISHI¹, Noriko NITTA² (1. Kochi University of Technology, 2. Kochi University of Technology)

Keywords:Ge、イオンビーム、重畳照射、ナノ構造、低加速電圧

Geに対してイオンビームを照射すると、表面にナノ構造が形成される。これらのナノ構造は、照射条件によって構造形態が異なる。そこで、本研究では低加速電圧における重畳照射が構造形態に及ぼす効果の検証を行った。