[P] P168~P180

[P169] Ge表面構造の形態変化に対する低エネルギー重畳イオンビーム照射の影響

*宮田 澪¹、大石 脩人¹、新田 紀子² (1. 高知工大(院生)、2. 高知工大)

キーワード：Ge、イオンビーム、重畳照射、ナノ構造、低加速電圧

Geに対してイオンビームを照射すると、表面にナノ構造が形成される。これらのナノ構造は、照射条件によって構造形態が異なる。そこで、本研究では低加速電圧における重畳照射が構造形態に及ぼす効果の検証を行った。