[P] P9~P13

[P11] Crystallization of Ge thin films on Au-coated substrates : Effect of Ge layer thickness

*Teppei KOSUGI¹, Kentaro KYUNO^1,2 (1. Shibaura Institute of Technology, 2. SIT International Research Center for Green Electronics)

Keywords:半導体薄膜、ゲルマニウム

本実験ではAu薄膜を形成した基板に加熱しながらGeをスパッタすることで、Ge薄膜の結晶化を試みた。アニール温度とGeの膜厚による結晶化への影響と成膜したGe薄膜の特性を調べることを本実験の目的とした。