[P] P9~P13

[P12] Crystallization and electrical properties of Ge thin films by sputtering on Au thin films

*Yuki HOSHI¹, Kentarou KYUNO^1,2 (1. Shibaura Institute of Technology, 2. SIT International Research Center for Green Electronics)

Keywords:半導体薄膜

本実験では、先にAu膜を形成した基板を加熱しながらGe膜を成膜することで層交換を起こす手法を試みた。この方法でGeを結晶化させて電気特性を調べることを目的とした。