[P] P39~P46

[P39] Exploration of Gap-control Methods in Fabrication of Discrete Nanocolumnar InN Films by Glancing-angle Reactive Evaporation

*Watanabe Masaki¹, Inoue Yasushi¹, Nishio Mayuki², Takai Osamu¹ (1. 千葉工大、2. 関東学院大)

Keywords:InN薄膜、斜入射堆積法、空隙制御、蒸着

窒化インジウムはエレクトロクロミック(EC)材料である．他のEC材料と比較して色変化の速度が速い．しかしその速度を決定する要因はわかっていない．本研究では，様々な方法をで空隙を制御する方法を探索した．