2:00 PM - 3:30 PM
[P41] Microstructure and high-temperature hardness property of metallic glass films containing different rare gas elements.
Keywords:アンバランスドマグネトロンスパッタ法、金属ガラス、希ガス、微細組織、ナノインデンテーション法
UBMスパッタ法によりAr、NeおよびAr+Neを含有した金属ガラス膜を作製し、膜の微細組織観察と高温硬さの評価を行った。
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