[P] P79~P91

[P82] Microscale Ion Beam-Induced Formation of Porous Structure on Ge

*Jinichiro IDETO¹, Takahiro Ueda¹, Naoto Oishi¹, Noriko Nitta² (1. Kochi University of Technology, 2. Kochi University of Technology)

Keywords:Ge、イオンビーム、照射損傷、ライン、ポーラス構造

Geはイオンビームを照射することで、表面にナノからサブミクロンサイズのポーラス構造を形成させることが可能である。本研究では、微小領域に対してイオンビームを照射することで、Geの照射挙動を調べた。