[P] P79~P91

[P86] Film growth and elemental substitution of Group 1 & 2 metal hydrides using radical-hydrogen reactive infrared laser evaporation

*Kota MUNEFUSA¹, Erika FUKUSHI¹, Junya TANAKA¹, Takayuki HARADA², Hiroyuki OGUCHI¹ (1. Shibaura Tech., 2. NIMS)

Keywords:金属水素化物、赤外レーザー蒸着法、機能性材料

1・2族金属水素化物は水素の特異性を反映した物性を示し得る機能性材料である。本研究では新手法ラジカル水素反応性赤外レーザー蒸着法を開発し、高品質薄膜合成および金属置換によるイオン伝導率向上に挑戦した。