[G] 電子材料・テラヘルツ光

[303] 銅配線の電気抵抗率に及ぼす粒界配置の影響

*久家 和浩¹、山室 賢輝²、連川 貞弘³ (1. 熊本大学院自然、2. 熊本大技術部、3. 熊本大先端)

キーワード：結晶粒界、電気抵抗率、銅配線

四端子プローブ法を用いてCu粒界の電気伝導性を定量評価した。粒界に沿った電気伝導に着目し，粒界性格の異なる2つの粒界の粒界抵抗率に及ぼす粒界構造の影響を調査した。