[S4] S4.Architecture construction for functions and properties ofmaterials V

[S4.6] Evaluating the effects of roughness in nanoindentation tests on GaN single crystal

*Hiroto OGURI¹, Yan LI², Ai OSAKA³, Azusa HATTORI⁴, Atsutomo NAKAMURA² (1. Osaka University, 2. Osaka University, 3. University of Hyogo, 4. Osaka University)

Keywords:ナノインデンテーション、表面粗さ、GaN、Pop-in

異なる表面処理から得られた、表面粗さの異なるGaN単結晶の(0001)面に対してナノインデンテーション試験を実施した。表面の凹凸により、ポップイン現象の幅および発生荷重が小さくなることを見出した。