[S4] S4.材料機能特性のアーキテクチャー構築シンポジウムV－さまざまな格子欠陥・相界面のアナロジー体系化による学理の再認識－

[S4.6] 窒化ガリウム(0001)基板を用いたナノインデンテーション試験における表面平滑性の影響評価

*大栗 洋人¹、李 燕²、大坂 藍³、服部 梓⁴、中村 篤智² (1. 大阪大基礎工（院生）、2. 大阪大基礎工、3. 兵庫県立大工、4. 大阪大産研)

キーワード：ナノインデンテーション、表面粗さ、GaN、Pop-in

異なる表面処理から得られた、表面粗さの異なるGaN単結晶の(0001)面に対してナノインデンテーション試験を実施した。表面の凹凸により、ポップイン現象の幅および発生荷重が小さくなることを見出した。