[G] Analysis/Characterization/Evaluation

[55] Solute atom mediated crystallization of amorphous Pd-Si alloy thin films

*Kazuhisa SATO¹, Hirotaro MORI¹ (1. Research Center for UHVEM, Osaka Univ.)

Keywords:電子照射、電子励起、アモルファス、結晶化、溶質原子

非晶質(a-)Pd-19at%Si合金薄膜をa-SiOx薄膜で挟んだ積層膜を作製し、75keV電子照射により結晶化させたところ、Pd-Si中のSi濃度が顕著に増加した。a-SiOxの解離により生成したSiが結晶化を誘起したと考えられる。