[G] 分析・解析・評価

[55] 溶質原子を介したアモルファスPd-Si合金薄膜の結晶化

*佐藤 和久¹、森 博太郎¹ (1. 阪大電顕センター)

キーワード：電子照射、電子励起、アモルファス、結晶化、溶質原子

非晶質(a-)Pd-19at%Si合金薄膜をa-SiOx薄膜で挟んだ積層膜を作製し、75keV電子照射により結晶化させたところ、Pd-Si中のSi濃度が顕著に増加した。a-SiOxの解離により生成したSiが結晶化を誘起したと考えられる。