[G] Analysis/Characterization/Evaluation

[59] Indexing of EBSD pattern with comparing simulation pattern

*Tatsuya FUKINO¹, Suzuki Seiichi¹ (1. 株式会社TSLソリューションズ)

Keywords:EBSD、シミュレーションパターン、Spherical Index、方位差解析

Si単結晶の圧痕周辺部のEBSD測定を行い、シミュレーションパターンを用いたEBSDパターンの指数付け法により微小方位差の解析を行った。