[G] Analysis/Characterization/Evaluation

[60] Particle analysis method using multi-segmented BED signals for SEM

*Kei Nagatomo¹, Takeshi Otsuka¹ (1. JEOL Ltd.)

Keywords:SEM-EDS、反射電子検出器、粒子解析、画像処理

SEM-EDS法を用いた粒子解析は、高い加速電圧を要する際などに粒子の組成コントラストが弱まり、粒子抽出が難しい場合がある。そこで今回は反射電子の信号強度分布を利用し高加速電圧下における粒子の抽出を試みた。