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[328] 微細組織と磁気特性に及ぼすFePt-BNグラニュラー薄膜の
N2ガスとRFバイアス効果
キーワード:FePt、h-BN、HAMR
FePtをベースにしたHAMRの高密度化に期待されているh-BNをセグレガントとしてFePt-BNグラニュラー膜を作製した。N2ガスとRFバイアスの導入が六方晶の多層構造のh-BNの結晶化促進に効果的であることがわかった。
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