講演情報

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一般講演C

[C] 一般講演C

2021年6月11日(金) 10:30 〜 14:30 一般講演C

座長 C1-C5 前田拓也 / C6-C11 徳永辰也

11:15 〜 11:30

[C4] 新電解めっき法により成膜された極微細Cu配線の微細組織

^○榊廉也¹, 山室賢輝², 岩津春生³, 連川貞弘⁴ (1.熊大/院生, 2.熊大/技術部, 3.熊大/IINa, 4.熊大/院先端)

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