スケジュール 0 いいね! 0 コメント (0) 17:15 〜 19:00 [PCG24-P07] 無酸素Pd/Ti蒸着NEGを用いた無電源真空ポンプの実環境下での評価 *吉川 一朗1、正岡 裕介2、狩野 悠2、矢部 学2、濵中 健一2、吉岡 和夫1、郭 懿為1 (1. 東京大学、2. 入江工研株式会社) キーワード:真空ポンプ、非蒸発型ゲッターポンプ