14:15 〜 14:30
[1C07-10-01] EUVおよびEBリソグラフィー用有機Sn側鎖高分子の反応機構解析およびパターニング評価【※】
【※】若手優秀講演賞エントリー
〇橋本 康平1、高田 結衣、室屋 裕佐1、古澤 孝弘1、町田 康平2、榎本 智至2、Bilal Naqvi3、Danilo De Simone3 (1. 阪大産研、2. 東洋合成工業、3. imec)
一般発表
2024年7月3日(水) 14:15 〜 15:15 C (天王星)
座長:田口 光正(量研・高崎研)
14:15 〜 14:30
〇橋本 康平1、高田 結衣、室屋 裕佐1、古澤 孝弘1、町田 康平2、榎本 智至2、Bilal Naqvi3、Danilo De Simone3 (1. 阪大産研、2. 東洋合成工業、3. imec)
14:30 〜 14:45
〇山沖 留美1、落合 りょう1、平田 雅彦1 (1. 大阪医薬大薬)
14:45 〜 15:00
〇室屋 裕佐1、和田 陽一2、石田 一成2、清水 亮介3、古澤 孝弘1 (1. 阪大産研、2. 日立・研開、3. 日立GE)
15:00 〜 15:15
〇山下 真一1、池田 和輝1、中原 洸貴1、李 響1、木村 敦2、田口 光正2 (1. 東大・院工、2. 量研・高崎研)
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