The 61st Annual Meeting on Radioisotopes and Radiation Researches

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放射線化学１

Wed. Jul 3, 2024 2:15 PM - 3:15 PM C (天王星)

座長:田口 光正(量研・高崎研)

2:15 PM - 2:30 PM

[1C07-10-01] EUVおよびEBリソグラフィー用有機Sn側鎖高分子の反応機構解析およびパターニング評価【※】

【※】若手優秀講演賞エントリー

〇橋本 康平1、高田 結衣、室屋 裕佐1、古澤 孝弘1、町田 康平2、榎本 智至2、Bilal Naqvi3、Danilo De Simone3 (1. 阪大産研、2. 東洋合成工業、3. imec)

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