Triple Q-ICP-MSによる多結晶シリコン表面の極微量ホウ素及びリン分析におけるブランクフリー前処理手法の開発

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(口頭講演)

1：原子スペクトル分析

原子スペクトル分析　4

Fri. Sep 15, 2023 1:15 PM - 2:00 PM A2 room (Kumamoto-jo hall)

座長:大畑昌輝(産業技術総合研究所計量標準総合センター)

1:30 PM - 1:45 PM

○モハマッドＢ．シャバニ¹、河野利哉¹、橋本侑宜² (1. 三菱マテリアル（株）、2. 高純度シリコン（株）)

Keywords:Triple-Q-ICP-MS、シリコン、B 及び P

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