日本分析化学会第72年会

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(口頭講演)

1：原子スペクトル分析

原子スペクトル分析　5

Fri. Sep 15, 2023 2:15 PM - 3:15 PM A2 room (Kumamoto-jo hall)

座長:岡林 識起(関西学院大学)

2:15 PM - 2:30 PM

[3A2-104] 半導体ウェーハの極微量元素分析のためのLA-ICP-MSの開発

○大畑 昌輝1、鈴木 幸志2、一之瀬 達也2、川端 克彦2 (1. 国立研究開発法人産業技術総合研究所計量標準総合センター、2. 株式会社イアス)

Keywords:レーザーアブレーション誘導結合プラズマ質量分析法

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