日本分析化学会第73年会

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(口頭講演)

一般講演（口頭発表）

1：原子スペクトル分析-4

Wed. Sep 11, 2024 4:15 PM - 5:15 PM A (2311)

座長:平田 岳史(東京大学大学院理学系研究科)

4:15 PM - 4:30 PM

[A1106] ホットプラズマTriple Q-ICP-MSによる半導体シリコン中の極微量不純物元素測定のためのシングルモード測定の開発

○モハマッド Ｂ．シャバニ―1、河野 利哉1、橋本 侑宜2 (1. 三菱マテリアル（株）、2. 高純度シリコン（株）)

Keywords:Triple-Q-ICP-MS、シリコン、極微量分析

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